TECMIZE社半導体CV特性アナライザTH51Xの紹介について

TECHMIZE TH51Xシリーズ半導体C-V特性アナライザ

第3世代半導体の急速な発展に伴い、測定技術も全面的なアップグレードが求められています。特に高電圧、大電流、高周波テスト、およびキャパシタンス特性（CV特性）の測定が重要です。

現在、市場上のパワーデバイスCV特性テスト機器には、以下の課題が存在します：

a) 価格が高額：1千万以上の価格帯であり、一般的な企業には負担が大きい。

b) テスト効率が低い：1台の機器で動的特性と静的特性の両方をテスト可能だが、配線が複雑で操作が難しく、結果を得るのに時間がかかる。

c) 体積が大きい：専門的なキャパシタンステストの経験が不足しており、複数の電源、LCR、工控機またはPLC、ケース、テスト治具などを組み合わせた構成のため、自動化生産ラインでの使用に適さない。

d) 漏源電圧VDSが低い：多くは最高1200V程度までしか対応できず、第3世代半導体パワーデバイスのテストニーズを満たせない。

e) 測定精度が低い：専門的なキャパシタンス測定の経験不足と過剰な接続により、特にpFレベルの微小容量の測定精度が不十分。

f) テスト効率が低い：複数の機器を組み合わせており、工控機またはPLCによる制御が必要なため、1つのデバイスのテストに時間がかかる。

g) 拡張性が低い：機器が多すぎるため、異なるプログラミングプロトコルを統合することが難しく、顧客の生産ライン自動化テストシステムへの統合が困難。

これらの課題に対応するため、TECHMIZE社はパワーデバイスのCV特性に特化したソリューションを提供しています。

これらの特性により、以下の新たな特徴がもたらされました：

極めて低い内部抵抗：同様のシリコンデバイスと比較して効率が70%向上。
低抵抗による熱性能の改善：最高動作温度が上昇し、放熱が改善され、より高い電力密度を実現。
放熱の最適化：シリコンデバイスと比較して、よりシンプルなパッケージが採用可能で、サイズと重量も大幅に削減。
極めて短いターンオフ時間（GaNデバイスはほぼゼロ）：高いスイッチング周波数で動作可能で、動作温度も低い。

これらの特性は、特にMOSFETやIGBTなどのパワーデバイスにおいて広く応用されています。

標準付属アクセサリ

テスト・フィクスチャ

テスト・フィクスチャ

TH510 フィクスチャ制御接続ケーブル

TH510 測定延長ケーブル

標準2チャンネル、最大6チャンネルまで拡張可能：複数の単体デバイスやモジュールデバイスのテストに適しています。
RS232C、USB、LANインターフェースを標準装備：SCPIプロトコルをサポートし、HANDLERインターフェースとの連携が可能で、自動化生産ラインやパワーエレクトロニクステストシステムへの統合が容易です。

製品正面

製品裏面

■製品仕様

型式			TH511	TH512		TH513
製品詳細ページ			詳細はこちら	詳細はこちら		詳細はこちら
チャンネル数			1	2 (4/6 Ch Optional)		1
ディスプレイ	ディスプレイ		10.1インチ静電容量式タッチスクリーン
	アスペクト比		0.672916667
	解像度		1280RGB800
測定パラメータ			Ciss、Coss、Crss、Rg。4つのパラメータを任意に選択可能
テスト周波数	範囲		1kHz-2MHz
	確度		0.0001
	分解能		10mHz 1.00000kHz-9.99999kHz
			100mHz 10.0000kHz-99.9999kHz
			1Hz 100.000kHz-999.999kHz
			10Hz 1.00000MHz-2.00000MHz
テスト・レベル	電圧範囲		5mVrms-2Vrms
	確度		± (10% * 設定値 + 2mV)
	分解能		1mVrms 5mVrms-1Vrms
			10mVrms 1Vrms-2Vrms
Vgs	範囲		0 – ±40V
	確度		1% * 設定電圧 + 8mV
	分解能		1mV 0V – ±10V
			10mV ±10V – ±40V
Vds	範囲		0 – 200V		0 – 1500V	0 – 3000V
	確度		1% * 設定電圧 + 100mV
出力インピーダンス			100Ω, ±2%@1kHz
偏差測定機能			公称値からの絶対偏差 Δ、公称値からの百分率偏差 Δ%
補正機能			オープン（OPEN）、ショート（SHORT）、ロード（LOAD）
アベレージ			1-255 times
測定時間 (ms/time)			Fast+: 0.56ms (＞5kHz), Fast: 3.3ms, Middle: 90ms, Slow: 220ms.
基本確度			0.001
Ciss, Coss, Crss			0.00001pF – 9.99999F
Rg			0.001mΩ – 99.9999MΩ
Δ%			±（0.000% – 999.9%）
リスト掃引	ポイント数		20個の測定ポイント（スポット）、各スポットごとに平均回数を設定可能、それぞれ個別にソート可能
	パラメータ		テスト周波数、Vg、Vd、チャンネル
	トリガ・モード		Sequence SEQ: 1回のトリガーで、すべてのスイープポイントを測定し、/EOM/INDEX を1回のみ出力。 Step: 1つのトリガーごとに1つのスイープポイントを測定し、各ポイントで /EOM/INDEX を出力。ただし、リストスキャンのコンパレータ結果は最後の /EOM のみ出力。
トレース掃引	ポイント数		任意のスポットを選択可能、最大1001スポット
	測定結果		同じパラメータで異なる Vg の複数のカーブを取得可能; 同じ Vg で異なるパラメータの複数のカーブを取得可能.
	表示範囲		リアルタイム自動処理、ロック機能付き
	座標軸		対数、線形
	パラメータ		Vg, Vd
	トリガ・モード	シングル	手動トリガーを1回実行すると、開始スポットから終了スポットまで1回のスキャンが完了し、次のトリガー信号で新しいスキャンが開始される
		連続	開始スポットから終了スポットまでの無限ループスキャン
	測定結果のセーブ		グラフィック、ファイル
コンパレーター	Bin		10Bin, PASS, FAIL
	Bin偏差設定		偏差、パーセント偏差、オフ
	Binモード		許容値、連続
	Binカウント		0-99999
	Bin判定		各ビン（Bin）に対して最大4つのパラメータの制限範囲を設定可能。4つのテストパラメータの結果が設定範囲内であれば、対応するビン番号が表示される。設定された最大ビン番号範囲を超えた場合、「FAIL」が表示される。上限および下限が設定されていないテストパラメータは自動的に無視される。
	PASS/FAIL表示		Bin1-10を満たす場合、前面パネルの「PASS」ライトが点灯し、それ以外は「FAIL」ライトが点灯する。
データ・キャッシュ			201件の測定結果を一括で読み取ることが可能。
セーブ/リコール	内部		約100Mの不揮発性メモリにテスト設定ファイルを保存可能。
	外部USBメモリ		テスト設定ファイル、スクリーンショット、ログファイル
キーボード・ロック			前面パネルのボタンはロック可能、その他の機能は拡張予定
インターフェース	USBホスト		2つのUSBホストインターフェースを備え、マウスとキーボードを同時に接続可能。ただし、Uディスクは1つのみ使用可能
	USBデバイス		ユニバーサル・シリアル・バス（USB）ソケット、小型タイプB（4接点）；USB TMC-USB488およびUSB2.0に準拠し、外部コントローラー接続用のメスコネクター
	LAN		10/100M イーサネット、8ピン、2つの速度オプション
	ハンドラー		Bin信号出力用
	RS232C		標準9ピン、クロス接続
	RS485		変更の受信または外部RS232 to RS485モジュールに対応。
起動後の暖機時間			60分
電源			100-120VAC / 198-242VAC オプション、47-63Hz。
消費電力			130VA以上
寸法 (WHD) mm			430177405
重量			12kg