| 測定周波数範囲 |
測定に使用するAC信号の周波数範囲。例：1 kHz〜2 MHz以上 |
高周波（HF）・低周波（LF）CV測定に対応しているか要確認 |
| DCバイアス範囲 |
デバイスに印加可能なDC電圧の範囲。例：±100 V、最大±2000 Vなど |
パワーデバイス用途では高電圧対応が重要 |
| AC信号振幅（VAC） |
CV測定に使用されるAC信号の振幅。例：10 mV〜1 V |
小信号測定か大信号印加か、材料・デバイスにより異なる |
| 容量測定レンジ |
測定可能な静電容量の範囲。例：1 fF〜1 μF |
MOSキャパシタや微小構造体では高分解能が求められる |
| 容量測定分解能 |
最小ステップで測定可能な容量の単位。例：0.1 fF、1 fFなど |
微細プロセスや先端材料の評価では重要 |
| 測定速度（サンプリングレート） |
電圧ステップごとの測定時間。例：1 ms/point以下 |
高速スイープによる信頼性試験・大量測定に有効 |
| 準静的測定対応 |
Quasi-Static CV測定の対応有無 |
トラップ準位評価や絶縁特性解析で必要 |
| 漏れ電流モニタ機能 |
CV測定中のDCリーク電流を同時モニタ可能かどうか |
高電圧印加時の安全性・信頼性評価に有効 |
| ドーピングプロファイル解析機能 |
CV測定から自動で不純物分布を導出できる機能の有無 |
ソフトウェア内蔵機能として評価される |
| サンプル対応電極構成 |
トップコンタクト／バックコンタクト対応の有無 |
プローブステーションとの接続互換性にも注意 |
| 安全性・保護機能 |
過電流保護、絶縁トランス、インターロックなどの有無 |
高電圧用途では必須項目 |
| 解析ソフトウェア |
測定制御・データ解析ソフトの有無と機能性 |
GUIの使いやすさや結果の出力形式もポイント |
