ソースメジャーユニット(SMU)基本スペック一覧
項目 | 内容・説明 |
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出力モード | 電圧ソース/電流ソース(両対応) |
測定モード | 電圧測定/電流測定(両対応) |
動作象限 | 4象限動作対応(ソース/シンク両対応) |
出力電圧レンジ | 例:±20 V、±100 V、最大1000 V(機種による) |
出力電流レンジ | 例:±10 nA〜±10 A(複数レンジ切替可能) |
測定分解能 | 最大24-bit ADC採用の機種あり(例:1 µV / 10 fAレベル) |
コンプライアンス機能 | 設定上限に達した際に自動遮断(デバイス保護) |
スイープ機能 | 電圧/電流のステップスイープ・リニアスイープ機能付き |
測定スピード | 例:最大10,000回/秒(スピード/分解能トレードオフ設定可) |
接続インタフェース | USB、LAN、GPIB、RS232など |
プログラミング対応 | SCPIコマンド対応、LabVIEW/Matlab/IVI等 |
マルチチャネル対応 | 一部機種で2ch/4ch/8chなどを搭載 |
温度係数補正 | 精度保持のための内部温度補正機能あり(高精度機種) |
内蔵データロギング | 長時間測定用のロギング機能搭載機種あり |
アプリケーション例 | I-V測定、LED/フォトダイオード評価、バッテリー充放電、MEMS特性評価など |
主な代表機種 | Keithley 2400/2600シリーズ、Techmize TH199Xシリーズ、R&S NGUシリーズなど |