ソースメジャーユニット(SMU)基本スペック一覧

項目 内容・説明
出力モード 電圧ソース/電流ソース(両対応)
測定モード 電圧測定/電流測定(両対応)
動作象限 4象限動作対応(ソース/シンク両対応)
出力電圧レンジ 例:±20 V、±100 V、最大1000 V(機種による)
出力電流レンジ 例:±10 nA〜±10 A(複数レンジ切替可能)
測定分解能 最大24-bit ADC採用の機種あり(例:1 µV / 10 fAレベル)
コンプライアンス機能 設定上限に達した際に自動遮断(デバイス保護)
スイープ機能 電圧/電流のステップスイープ・リニアスイープ機能付き
測定スピード 例:最大10,000回/秒(スピード/分解能トレードオフ設定可)
接続インタフェース USB、LAN、GPIB、RS232など
プログラミング対応 SCPIコマンド対応、LabVIEW/Matlab/IVI等
マルチチャネル対応 一部機種で2ch/4ch/8chなどを搭載
温度係数補正 精度保持のための内部温度補正機能あり(高精度機種)
内蔵データロギング 長時間測定用のロギング機能搭載機種あり
アプリケーション例 I-V測定、LED/フォトダイオード評価、バッテリー充放電、MEMS特性評価など
主な代表機種 Keithley 2400/2600シリーズ、Techmize TH199Xシリーズ、R&S NGUシリーズなど