ソースメジャーユニット（SMU）入門者向け選定ガイド

1. SMUとは？

ソースメジャーユニット（SMU）は、電圧または電流を出力しつつ、その電圧・電流を同時に測定できる精密な計測機器です。1台でソース機能とメーター機能を兼ね備え、主に以下のような用途に使用されます。

半導体デバイスのI-V特性評価
センサーデバイスの動作確認
バッテリーや太陽電池の充放電評価
LEDやレーザーダイオードの特性試験

2. 選定時の基本チェックポイント

✅ 目的に合った「電圧・電流レンジ」

低電流測定（pA～nA）：フォトダイオードやリーク測定など → 高分解能必須
中電流～高電流（mA～A）：パワーデバイスやバッテリー評価など

✅ 測定分解能・確度

微小な変化を測定するにはμV/μAレベルの分解能が必要
24-bit ADC搭載の高精度SMUが理想的（例：Techmize TH199X）

✅ 4象限動作対応の有無

電源としての出力（ソース）と負荷としての吸収（シンク）の両方が必要な場合、4象限動作対応モデルを選ぶ

✅ スイープ・ロギング機能

自動スイープ機能：I-V特性の測定に便利
ロギング機能：長時間の挙動観察に便利

✅ 制御インターフェース

USB／LAN／GPIBなど、社内設備や自動測定システムとの連携を考慮

3. 用途別おすすめモデル（参考）

用途	必要条件	おすすめモデル例
微小電流の測定（センサー、MEMS）	高分解能（pA対応）、低ノイズ	Keithley 2450/6517B、TH199X
パワーデバイスの評価	高電圧・高電流、4象限動作	R&S NGU401、Techmize TH510
教育・研究用途	コストパフォーマンス、簡単操作	Techmize TH199X、SMU-Lite機種
自動評価システム組み込み	SCPI対応、複数チャネル対応	Keithley 2602B、Techmizeシリーズ（複数ch）

4. 初心者におすすめの選び方ステップ

測定対象を明確にする（電流？電圧？どのくらいの精度が必要？）
4象限動作の要否を判断
測定スピードと精度のバランスを確認
操作性や接続性（USBなど）を確認
将来的な拡張（多ch対応、プログラム制御）も考慮

5. よくある失敗と注意点

⚠ 電流レンジ不足による測定不能
⚠ 測定ノイズが高くて解析困難
⚠ 制御ソフト非対応で自動化できない
⚠ 2象限動作のみで放電測定ができない

6. まとめ

SMUは高価な計測器ですが、一台で「電源＋メーター」の両機能を担える高機能機器です。選定の際は、「測定レンジ」「精度」「用途適合性」の3点を意識すると失敗が少なくなります。初心者の方は、まずは汎用性の高い中級モデルからスタートするのがおすすめです。