ソースメジャーユニット（SMU）基本スペック一覧
項目 | 内容・説明 |
|---|---|
出力モード | 電圧ソース／電流ソース（両対応） |
測定モード | 電圧測定／電流測定（両対応） |
動作象限 | 4象限動作対応（ソース／シンク両対応） |
出力電圧レンジ | 例：±20 V、±100 V、最大1000 V（機種による） |
出力電流レンジ | 例：±10 nA〜±10 A（複数レンジ切替可能） |
測定分解能 | 最大24-bit ADC採用の機種あり（例：1 µV / 10 fAレベル） |
コンプライアンス機能 | 設定上限に達した際に自動遮断（デバイス保護） |
スイープ機能 | 電圧／電流のステップスイープ・リニアスイープ機能付き |
測定スピード | 例：最大10,000回/秒（スピード／分解能トレードオフ設定可） |
接続インタフェース | USB、LAN、GPIB、RS232など |
プログラミング対応 | SCPIコマンド対応、LabVIEW/Matlab/IVI等 |
マルチチャネル対応 | 一部機種で2ch/4ch/8chなどを搭載 |
温度係数補正 | 精度保持のための内部温度補正機能あり（高精度機種） |
内蔵データロギング | 長時間測定用のロギング機能搭載機種あり |
アプリケーション例 | I-V測定、LED／フォトダイオード評価、バッテリー充放電、MEMS特性評価など |
主な代表機種 | Keithley 2400/2600シリーズ、TECHMIZE TH199Xシリーズ、R&S NGUシリーズなど |