薄膜マイクロ波フィルタ（Thin Film Microwave Filter）
これは、マイクロ波帯の信号から特定の周波数成分を選択的（ろ波）に取り出すために使用される電子部品で、薄膜技術を用いて作られるのが特徴です。
薄膜マイクロ波フィルタの概要
1. 定義と特徴
薄膜マイクロ波フィルタは、主に集積回路（IC）や表面実装（SMD）部品として使用するために、誘電体基板の上に非常に薄い金属や誘電体の膜を形成（成膜）して作られます。
-
小型・軽量: 薄膜技術により、従来の空洞共振器や誘電体フィルタに比べて極めて小型・軽量化されています。
-
高精度・安定性: 精密な薄膜プロセスにより、高い周波数選択性（Q値）と温度安定性を実現できます。
-
用途: 携帯電話、無線通信機器、衛星通信、レーダーシステムなど、高周波・高密度実装が求められる分野で重要な役割を果たします。
2. 基本的な構造
一般的に、アルミナ（）や石英などの低損失な誘電体基板上に、マイクロストリップラインやコプレーナ導波路といった伝送線路構造を、金属の薄膜（例：金、銀、銅）で形成し、フィルタの機能を持たせています。
この薄膜のパターンや材料、厚さを精密に制御することで、目的の周波数特性（例：バンドパス、ローパス、ハイパス）を実現します。
