製品名
半導体CV特性測定器 TECHMIZE 型式：TH512
価格
4,312,000円(税込)
型番
TH512
メーカー
概要
■製品仕様：
• 10.1インチ容量性タッチスクリーン、解像度1280*800、Linuxシステム
• デュアルCPUアーキテクチャ、LCR機能の最速テスト速度は0.56ms
• 3つのテスト方法：スポットテスト、リストスキャン、グラフィックスキャン（オプション）
• 4つの寄生パラメータ（Ciss、Coss、Crss、Rg）が同じ画面に表示される
• CVカーブスキャン、Ciss-Rgカーブスキャン
• 統合デザイン：LCR + VGS低電圧源 + VDS高電圧源 + チャンネルスイッチング + PC
• 標準2チャンネルテスト、2つのデバイスまたはデュアルチップデバイスを同時にテスト可能、チャンネルは6まで拡張可能、チャンネルパラメータは個別に保存
• 高速充電、コンデンサ充電時間を短縮し、高速テストを可能に
• 自動遅延設定
• 高バイアス：VGS: 0 - ±40V、VDS: 0 - 200V/1500V/3000V
• 10ビンソーティング
TH510シリーズ半導体C-V特性分析器は、TECHMIZE社が現在の半導体パワーデバイスの発展動向に基づき、半導体材料およびパワーデバイス向けに設計した分析器です。
この機器は一体化された統合設計を採用しており、ダイオード、トランジスタ、MOSFETおよびIGBTなどの半導体パワーデバイスの寄生容量、CV特性をワンタッチでテストできます。頻繁な配線切り替えやパラメータ設定は不要で、単一デバイスおよびモジュールパワーデバイスのどちらもワンタッチで迅速にテストでき、生産ラインでの迅速なテストおよび自動化統合に適しています。
CV曲線スキャン分析機能は、半導体材料およびパワーデバイスの研究開発と分析に対する実験室の要件も満たします。
この機器の設計周波数は1kHz～2MHzで、VGS電圧は±40V、VDS電圧は±200V/±1500V/±3000Vに達し、ほとんどのパワーデバイスのテスト要件を満たします。
■機能特長
A.一体化テスト、高集積度、小型、高効率
この一台の機器には、LCRデジタルブリッジ、VGS電圧源、VDS電圧源、高低圧切り替えマトリックスおよびホストPCソフトウェアが内蔵されており、複雑な配線や煩雑な操作をサポートする容量式タッチ対応のLinuxシステムに統合しています。操作がより簡単になり、生産ラインでの迅速かつ自動化されたテストに特に適しています。
B.単一デバイステスト、10.1インチの大画面、4つの寄生パラメータを同一画面に表示、詳細を一目で確認可能
MOSFETまたはIGBTの最も重要な4つの寄生パラメータ：Ciss、Coss、Crss、Rg、Cies、Coes、Cres、Rgをワンタッチでテストでき、10.1インチの大画面に測定結果、等価回路図、分別結果などの重要なパラメータを同時に表示できます。一目で確認できます。
単一デバイスをワンタッチでテストする際、テストピン、測定パラメータ、測定結果の頻繁な切り替えは不要で、テスト効率が大幅に向上します。
C.リストテスト、複数のマルチチップモジュールデバイスの測定パラメータを同一画面に表示
TH510シリーズ半導体C-V特性分析器は、最大6つの単一デバイス、6チップデバイス、または6モジュールデバイスのテストをサポートしており、すべての測定パラメータをリストスキャンモードで同時に表示してテスト結果と判断結果を表示します。
D.曲線スキャン機能（オプション）
MOSFETのパラメータの中で、CV特性曲線も非常に重要な指標です。以下の図を参照してください。
TH510シリーズ半導体C-V特性分析器は、C-V特性曲線分析をサポートしており、対数および線形の2つの方法で曲線スキャンを実現できます。同一パラメータの異なるVgの複数の曲線、同一Vgの異なるパラメータの複数の曲線を同時に表示できます。
E. 独創的接触チェック（Contact）機能、事前に自動化テストの問題を排除
F. 独創の高速通断テスト（OP_SH）、破損デバイスを排除
半導体デバイス特性テスト時、デバイス自体が破損している場合、特に多芯デバイスのうち一つの芯がすでに破損している場合、テストの雑散容量は依然として合格と見なされることがありますが、半導体デバイスの導通特性が最も重要な特性です。
したがって、導通特性が不良な製品に対してC-V特性テストを行うことは全く無意味であり、測定時間を浪費するだけでなく、C-Vが合格した不良品が良品に混入し、出荷後に返品されることで損失をもたらします。
TH510シリーズ半導体C-V特性分析器は、高速通断テスト（OP_SH）機能を提供し、デバイス自体の導通性能を直接判断できます。
G. 独創のモジュール式デバイス設定、カスタマイズ対応
デュアル（Dual）MOSFETや多組IGBTなどのモジュール式デバイスに対応し、一部のデバイスでは異なる種類のチップが混合されたパッケージが使用されます。TH510シリーズC-V特性分析器はこのような状況に対応するために最適化されており、一般的なモジュール式チップのデモが内蔵されており、特殊チップもカスタマイズに対応しています。
H. 簡単で迅速な設定
I. 10段階の分別とプログラマブルハンドラーインターフェース
J. カスタマイズ対応、インテリジェントなファームウェアアップグレード方式
TECHMIZEは顧客に対してオープンな姿勢をとっており、機器のすべてのインターフェースおよび命令セットがオープンデザインとなっています。顧客は独自にプログラムを組み込み、機能をカスタマイズできます。カスタマイズ機能にハードウェアの変更がない場合は、ファームウェアのアップグレードで直接更新可能です。
機器本体の機能向上、バグ修正、機能アップグレードなどもファームウェアアップグレードで行え、工場に返送する必要はありません。
ファームウェアのアップグレードは非常にインテリジェントで、システム設定画面またはファイル管理画面を通じて行えます。機器のメモリ、外付けUSB、さらにはローカルネットワーク内のアップグレードパッケージを自動的に検索し、アップグレードを実行します。
K. 独自技術でCiss、Coss、Crss、Rgの生産ライン／自動化システムでの高速テスト精度を実現
TECHMIZEはキャパシタテスト業界での約30年の経験を活かし、生産ラインや自動化テストなどの高速高精度テストの場面で、キャパシタや抵抗のテスト精度を確保しています。
一般的な生産ラインテストでは、標準の0メートルテストフィクスチャを提供し、直挿デバイスを直接挿入してテストでき、Ciss、Coss、Crss、Rgのテスト精度が高いです。
自動化テストでは、自動化設備のテスト治具が通常長い接続線を必要とするため、テスト線を延長する際に大きな精度の偏差が生じることが多いですが、同惠電子は独自の2メートル延長線を設計し、2メートルキャリブレーションを内蔵することで、Ciss、Coss、Crss、Rgのテスト精度を0メートルテストフィクスチャと同じに保ちます。
L. 半導体素子の寄生容量の知識
高周波回路では、半導体デバイスの寄生容量が半導体の動的特性に影響を与えることが多いため、半導体素子を設計する際には以下の要素を考慮する必要があります。
高周波回路設計では、ダイオード接合容量の影響を考慮する必要があります。MOSFETの寄生容量はデバイスの動作時間、駆動能力、およびスイッチング損失などの特性に影響を与えます。また、寄生容量の電圧依存性も回路設計において重要であり、MOSFETを例に挙げるとその影響が顕著です。
仕様
| 型名 | TH511 | TH512 | TH513 | ||||
| チャンネル数 | 2 (4/6 Ch Optional) | 2 | |||||
| ディスプレイ | ディスプレイ | 10.1-inch capacitive touchscreen | |||||
| アスペクト比 | 0.672916667 | ||||||
| 解像度 | 1280*RGB*800 | ||||||
| 測定パラメータ | Ciss, Coss, Crss, Rg. Four parameter selectable arbitrarily | ||||||
| テスト周波数 | 範囲 | 1kHz-2MHz | |||||
| 確度 | 0.0001 | ||||||
| 分解能 | 10mHz 1.00000kHz-9.99999kHz | ||||||
| 100mHz 10.0000kHz-99.9999kHz | |||||||
| 1Hz 100.000kHz-999.999kHz | |||||||
| 10Hz 1.00000MHz-2.00000MHz | |||||||
| テスト・レベル | 電圧範囲 | 5mVrms-2Vrms | |||||
| 確度 | ± (10%*Setting Value+2mV) | ||||||
| 分解能 | 1mVrms 5mVrms-1Vrms | ||||||
| 10mVrms 1Vrms-2Vrms | |||||||
| Vgs | 範囲 | 0 – ±40V | |||||
| 確度 | 1%* Setting Voltage+8mV | ||||||
| 分解能 | 1mV 0V – ±10V | ||||||
| 10mV ±10V – ±40V | |||||||
| Vds | 範囲 | 0 – 200V | 0 – 1500V | 0 – 3000V | |||
| 確度 | 1%* Setting Voltage+100mV | ||||||
| 出力インピーダンス | 100Ω, ±2%@1kHz | ||||||
| 偏差測定機能 | Absolute deviation Δ from nominal value, percent deviation from nominal value Δ% | ||||||
| 補正機能 | OPEN, SHORT, LOAD | ||||||
| アベレージ | 1-255 times | ||||||
| 測定時間 (ms/time) | Fast+: 0.56ms (＞5kHz), Fast: 3.3ms, Middle: 90ms, Slow: 220ms. | ||||||
| 基本確度 | 0.001 | ||||||
| Ciss, Coss, Crss | 0.00001pF – 9.99999F | ||||||
| Rg | 0.001mΩ – 99.9999MΩ | ||||||
| Δ% | ±（0.000% – 999.9%） | ||||||
| リスト掃引 | ポイント数 | 20 spots, the average number can be set for each spot, and each spot can be sorted separately | |||||
| パラメータ | Test Frequency, Vg, Vd, Channel | ||||||
| トリガ・モード | Sequence SEQ: After one trigger, measure at all sweep points, /EOM/INDEX output only once. Step: perform a sweep point measurement per trigger, each point outputs /EOM/INDEX, but the list scan comparator result is only output at the last /EOM |
||||||
| トレース掃引 | ポイント数 | Any Spot is optional, up to 1001 Spots | |||||
| 測定結果 | Multiple curves with the same parameter and different Vg; multiple curves with the same Vg and different parameters. |
||||||
| 表示範囲 | Real-time automatic, locked | ||||||
| 座標軸 | Logarithmic, linear | ||||||
| パラメータ | Vg, Vd | ||||||
| トリガ・モード | シングル | Manual trigger once, complete one scan from the start spot to the end spot, and start a new scan with the next trigger signal | |||||
| 連続 | Infinite loop scan from the start spot to the end spot | ||||||
| 測定結果のセーブ | Graphics, files | ||||||
| コンパレーター | Bin | 10Bin, PASS, FAIL | |||||
| Bin偏差設定 | Deviation, Percent Deviation, Off | ||||||
| Binモード | Tolerance, continuous | ||||||
| Binカウント | 0-99999 | ||||||
| Bin判定 | A maximum of four parameter limit ranges can be set for each bin. The corresponding bin number will be displayed within the setting range of the four test parameter results. If it exceeds the set maximum bin number range, FAIL will be displayed. Test parameters without upper and lower limits will be automatically ignored. | ||||||
| PASS/FAIL表示 | Satisfy Bin1-10, the PASS light on the front panel is on, otherwise the FAIL light is on. | ||||||
| データ・キャッシュ | 201 measurement results can be read in batches | ||||||
| セーブ/リコール | 内部 | About 100M non-volatile memory test setup file | |||||
| 外部USBメモリ | Test setup files, screenshots, log files | ||||||
| キーボード・ロック | Lockable front panel buttons, other functions to be expanded | ||||||
| インターフェース | USBホスト | 2 USB HOST interfaces, which can be connected to the mouse and keyboard at the same time, and only one U disk can be used at the same time | |||||
| USBデバイス | Universal Serial Bus socket, small type B (4 contact positions); compliant with USB TMC-USB488 and USB2.0, female connector for connecting external controllers. | ||||||
| LAN | 10/100M Ethernet, 8 pins, two speed options | ||||||
| ハンドラー | Used for Bin signal output | ||||||
| RS232C | Standard 9-pin, crossed | ||||||
| RS485 | Can receive modification or external RS232 to RS485 module | ||||||
| 起動後の暖機時間 | 60 Minutes | ||||||
| 電源 | 100-120VAC/198-242VAC Option, 47-63Hz | ||||||
| 消費電力 | More than 130VA | ||||||
| 寸法 (W*H*D) mm | 430*177*405 | ||||||
| 重量 | 12kg | ||||||
アクセサリ
| 標準付属アクセサリ | ||||||
| 名称 | 型名 | |||||
| テスト・フィクスチャ | TH26063B |  |
||||
| テスト・フィクスチャ | TH26063C |  |
||||
| TH510 フィクスチャ制御接続ケーブル | TH26063D |  |
||||
| TH510 測定延長ケーブル | TH26063G |  |
||||