高抵抗計/fA計/電位計 TECHMIZE 型式：TH269X シリーズ

■製品仕様：
高抵抗計/fA計/電位計、 6½桁、 電流: 0.1fA-20mA、
抵抗: 1PΩ、 電圧: 1μV -20V、 チャージ: 1fC-2μC、
電圧源: ±1000V、 温度と湿度の測定、
5インチ・タッチスクリーン、 Linux

多機能：高抵抗計、電流計、電圧計、静電計、電圧源

 

 

 

 

材料の特性を研究したり、デバイスの性能を評価する際には、fAやEΩといった極めて小さい電流や高い抵抗を測定する必要があります。
しかし、従来のデジタルマルチメータ（DMM）ではこれらの要求を満たすことができません。TH2690シリーズのフェムトアンメータ／エレクトロメータは、業界をリードする 0.01 fAの電流測定分解能 と 3EΩの抵抗測定 を実現し、材料測定を完全にカバーするとともに、現在および将来の測定ニーズに対応します。

 

 

 

 

 

 

TH2690シリーズは、I-t、V-t、R-t、Q-t、I-R グラフなど、さまざまなカーブグラフを容易に描画することができます。
（具体的なグラフ表示機能は使用する製品モデルによって異なります。）
高感度な測定を行う際、この強力で包括的なグラフ表示機能により、貴重なデータを容易に取得することが可能になります。

 

あらゆる測定環境には必ず一定のノイズ変動が存在するため、低レベル測定データには統計的不確かさが伴います。従来の方法では、測定終了後にヒストグラムを作成して（通常はコンピュータ上で）データを評価します。しかし、複数回の測定やテスト設定のデバッグを行う場合、このプロセスは非常に長くなることがあります。
TH2690シリーズは、リアルタイム自動スケーリング機能付きのヒストグラム表示を搭載しており、測定後のデータ処理を必要とせず、迅速に測定設定をデバッグできます。ヒストグラムは測定データの下に表示され、累積データをリアルタイムの測定データと比較するのに便利です。

 

 

 

 

TH2690シリーズは試験結果を判定し、分類することができます。モードは「グレーディング」と「ソーティング」の2種類があり、最大で7つの判定条件を設定可能です。設定インターフェースは右図の通りです。
グレーディングモード
不合格が出るまで順にリミット判定を行い、現在の不合格位置を出力します。すべてが合格した場合は、最後の合格位置が出力されます。
ソーティングモード
合格が出るまで順にリミット判定を行い、現在の合格位置を出力します。すべて不合格の場合は、最後の不合格位置が出力されます。

 

 

 

 

 

 

 

 

操作ミスや機器のセルフチェック失敗などの問題が発生した場合、エラーメッセージが機器下部の情報バーに表示されます。
「Tools – Error Information」アイコンをクリックすると、警告情報を確認でき、案内に従ってエラーを解消することができます。

 

 

 

電圧源 Vs をガードリング電極に印加します。試料表面上では、ガード電極から主電極へ電流が流れ、この表面電流を Im とします。
表面抵抗 Rs は次式で算出されます：
Rs=Vs/Im

​ガードリングから上部電極へ流れる電流は漏れ電流ですが、この電流は Vs の低電位側に流れ込み、Rs 算出に用いる電流計電流 (Im) の大きさには影響しません。
表面抵抗率 ρs は次式で算出されます：

ρs=(EPER​/GLEN)×Rs

EPER = 有効周長
GLEN = ギャップ長