ELITE XTD-200 全自動蛍光X線膜厚計
- 型番
- XTD-200
- メーカー
- ELITE
- カテゴリ
- 蛍光X線膜厚計・成分分析計
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特長
- コーティング厚さの分析
- 各層の合金成分分析
- 高性能検出器Pro-SDプロセッサ＋PCにより、微小サンプル、大型ワーク、高密度多点測定のいずれにも余裕で対応し、ナノメートル級の厚さも検出できます。
製品概要
まったく新しい上面照射方式とマイクロフォーカスX線を採用し、プログラム可能な自動移動プラットフォームを搭載。無人運転で複数の試料を自動検査でき、よりインテリジェントになりました。自社開発のAI画像認識機能により、スマートな測定ポイントの特定と、自動的な試験条件のマッチングが可能です。大型の異形部品や、微細で密集した多点測定においても、より効率的かつスマートな検査を実現します。
ワンクリックでテストが可能。各コンポーネントは下位制御装置に組み込まれており、プログラム可能な自動移動プラットフォームを搭載。移動精度はマイクロメートル級で、一度のプログラミングで座標を記憶し、無人状態で数百から数千ものサンプルを検査可能。
Li(3)-U(92)元素のコーティング層について、多層・多元素構成のものや、同一元素が異なる層に存在する場合であっても、高精度に測定できます。
オンライン：お客様のご要望に応じて生産ライン向けのオンライン検査を個別にカスタマイズでき、インダストリー4.0に対応したオンライン検査の総合ソリューションを提供し、検査効率を高め、完全自動でインテリジェントな工場を実現します。
規格表
| EFPアルゴリズム | 標準装備 |
|---|---|
| ソフトウェアの操作 | 使いやすいクローズド設計のソフトウェア。不具合を自動判定して校正・操作手順を表示し、誤操作を防止します。 |
| 検出器・信号処理 | Pro-SDプロセッサ＋PC |
| X線装置 | マイクロフォーカス強化型X線管 |
| コリメータ | Φ0.05mm／Φ0.1mm／Φ0.2mm／□0.03×0.2mm（4つのコリメータを自動切り替え、単一コリメータへのカスタマイズも可能） |
| フォーカス方式 | 高感度レンズ、オートフォーカス（操作不要） |
| 装置の寸法 | 奥行760mm×幅550mm×高さ635mm |
| 可動範囲 | 210mm×240mm |
| 装置の重量 | 120kg |
| その他の付属品 | パソコン一式、プリンター、付属品ケース、12元素標準試料、標準試料、めっき液測定カップ（オプション） |
| X線標準 | DIN ISO 3497、ASTM B 568 |
| コーティングの分析範囲 | Li（3）- U（92） |
| 分析ソフトウェア | 23種類のめっき層と24種類の元素を同時に分析 |
| 異なる層における同一元素の検出能力 | 標準装備 |
| 微光集光技術 | 最短測定距離でのスポットの広がり10%未満 |
| 測定距離 | 距離補正機能を備えており、測定距離を変更して凹凸のある不規則な形状の試料を測定可能です。測定可能な溝の深さの範囲は0～90mmです。 |
| 試料の観察 | 1/2.9インチカラーCCD、ズーム機能 |
| サンプルステージの移動方式 | 全自動高精度XYステージ |
| Z軸の移動範囲 | 145mm |
| 標準試料台の寸法 | 310mm×335mm |
| 倍率 | 25X～150X |
| 測定元素範囲 | Cl（17）- U（92） |