ELITE XTD 大型ステージ全自動蛍光X線膜厚計
- 型番
- XTD
- メーカー
- ELITE
- カテゴリ
- 蛍光X線膜厚計・成分分析計
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特長
- コーティング厚さの分析
- 各層の合金成分分析
製品概要
XTDは、各種の異形部品、特に金型などの金物、水回り製品、プリント基板、高精密電子部品の表面処理について、成分と膜厚を分析する全自動の蛍光X線分析装置です。各種製品の品質管理、受入検査、製造工程管理の測定に広く使われています。
マイクロフォーカスX線発生器と先進の光路切替集光システムを搭載し、最小測定面積は0.002mm²です。
23層・24元素を同時に分析できます。測定元素範囲は塩素Cl(17)～ウランU(92)、めっき層の分析範囲はリチウムLi(3)～ウランU(92)、めっき層の検出下限値は0.005μmです。
非破壊のズーム検査技術と手動ズーム機能により、各種の異形品や凹部のある部品を非破壊で検査できます。測定できる凹部の深さは0～90mmです。
使いやすいクローズドソフトウェアで、故障を自動判定して校正と操作手順を示し、誤操作を防ぎます。
独自のEFPアルゴリズムにより、多層・多元素のめっきや、異なる層にある同一元素も高速・高精度・安定して分析できます（ネオジム磁石上のNi/Cu/Ni/FeNdBで、第1層と第3層のNiの膜厚を測定）。
4種類のコリメータを標準装備し、自由に切り替えられます。
全自動のプログラマブル移動ステージを搭載し、無人で数百～数千個の試料を自動検査できます。
微光集光技術により、最短測定距離でのスポットの広がりは10%未満です。
規格表
| EFPアルゴリズム | 標準装備 |
|---|---|
| ソフトウェアの操作 | 使いやすいクローズド設計のソフトウェア。不具合を自動判定して校正・操作手順を表示し、誤操作を防止します。 |
| 検出器・信号処理 | Pro-SDプロセッサ＋PC |
| X線装置 | マイクロフォーカス強化型X線管 |
| コリメータ | Φ0.05mm／Φ0.1mm／Φ0.2mm／Φ0.03×0.2mm（4つのコリメータを自動切り替え、単一コリメータへのカスタマイズも可能） |
| フォーカス方式 | 高感度レンズ、オートフォーカス（操作不要） |
| 装置の寸法 | 奥行1220mm×幅1000mm×高さ750mm |
| 可動範囲 | 600mm×600mm |
| その他の付属品 | パソコン一式、プリンター、付属品ケース、12元素標準試料、標準試料、めっき液測定カップ（オプション） |
| X線標準 | DIN ISO 3497、ASTM B 568 |
| コーティングの分析範囲 | Li（3）- U（92） |
| 分析ソフトウェア | 23種類のめっき層と24種類の元素を同時に分析 |
| 異なる層における同一元素の検出能力 | 標準装備 |
| 微光集光技術 | 最短測定距離でのスポットの広がり10%未満 |
| 測定距離 | 距離補正機能を備えており、測定距離を変更して凹凸のある不規則な形状の試料を測定可能です。測定可能な溝の深さの範囲は0～90mmです。 |
| 試料の観察 | 1/2.9インチカラーCCD、ズーム機能 |
| サンプルステージの移動方式 | 全自動高精度XYステージ |
| Z軸の移動範囲 | 30mm |
| 標準試料台の寸法 | 690mm×650mm |
| 倍率 | 25X～150X |
| 測定元素範囲 | Cl（17）- U（92） |