ELITE XU-100 下面照射型蛍光X線膜厚計
- 型番
- XU-100
- メーカー
- ELITE
- カテゴリ
- 蛍光X線膜厚計・成分分析計
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特長
- コーティング厚さの分析
- 各層の合金成分分析
- RoHS検査
- 検査速度が速い
- ズーム装置のアルゴリズム
- 高精度ミニチュア移動レール
- より高いコストパフォーマンス
- 長寿命
- 下面照射式設計サンプルへの位置決めとピント合わせを素早く簡単に行えます。
- マイクロフォーカスX線装置最短測定距離でのスポットの広がり10%以内で、各種めっき層の膜厚検査が可能です。
- Pro-SDプロセッサ＋PC／DPP＋FAST SDD（オプション）微小サンプルの測定でも数秒で安定した結果が得られます。
- 先進的なEFPアルゴリズム多層・多元素、同一元素が異なるめっき層にある場合も含め、素早く正確かつ安定したデータ分析が可能です。
製品概要
まったく新しい下面照射方式を採用し、コストパフォーマンスに優れ汎用性の高いモデルです。各種の平面部品、異形部品、めっき液の検査を簡単かつ迅速に行え、検査結果を自動判定できます。
各種金属めっき層を検査でき、検出下限値は0.005μmです。
規格表
| ソフトウェアの操作 | 使いやすいクローズド設計のソフトウェア。不具合を自動判定して校正・操作手順を表示し、誤操作を防止します。 |
|---|---|
| 検出器・信号処理 | Pro-SDプロセッサ＋PC／DPP＋FAST SDD（オプション） |
| X線装置 | マイクロフォーカスX線管 |
| コリメータ | φ0.1mm／φ0.2mm／0.5mm／5mm（4コリメータ構成はオプション） |
| フォーカス方式 | 高感度レンズ、マニュアルフォーカス |
| 装置の寸法 | 550mm×360mm×410mm |
| サンプルステージの移動 | オプションの高精度XY手動移動プラットフォーム |
| 可動範囲 | 50mm×50mm |
| コーティングの分析範囲 | Li(3)-U(92) |
| アルゴリズム | 独自に開発したEFPアルゴリズム |
| 分析ソフトウェア | 5つのめっき層、10種類の元素を同時に分析 |
| 微光集光技術 | 最短測定距離でのスポットの広がり10%以内 |
| 測定距離 | 距離補正機能を備えており、測定距離を変更して凹凸のある異形サンプルの測定が可能で、ズーム距離は0～30mmです。 |
| 試料の観察 | 1/2.7インチカラーCCD、ズーム機能 |
| RoHS | オプション |
| フィルター | オプションの統合型組み込み式マルチフィルター切替装置 |
| 倍率 | 光学38～46X、デジタル40～200倍 |
| サンプルチャンバーの寸法 | 長さ400mm×幅320mm×高さ150mm |
| 測定元素範囲 | Cl(17)/Al(13)-U(92) |
付属品・オプション
品名 | XU-100（0.1） | XU-100（0.2） | XU-100（0.5） |
|---|---|---|---|
パソコン一式 | 標準付属品 | 標準付属品 | 標準付属品 |
プリンター | 標準付属品 | － | － |
付属品ケース | 標準付属品 | 標準付属品 | 標準付属品 |
12元素標準試料 | 標準付属品 | 標準付属品 | 標準付属品 |
標準試料 | 標準付属品 | オプション | オプション |
めっき液測定カップ | オプション | オプション | オプション |