**CBKR（Cross-Bridge Kelvin Resistor）**は、半導体プロセスの評価において、特定のコンタクト（接触部）1個あたりの「コンタクト抵抗（接触抵抗）」を極めて正確に測定するための特殊なレイアウト構造です。
微細化が進む現代のチップ設計において、CBKRのレイアウトには**「電流の回り込み（Current Crowding）」**による誤差をどう抑えるかという高度なノウハウが求められます。
1. CBKRの基本構造と測定原理
CBKRは、下層配線（例：拡散層や下層メタル）と上層配線（例：上層メタル）が十字に交差する中心に、測定対象となる「コンタクトホール」を1個だけ配置した形状をしています。
-
電流経路 (Force): 十字の片方の軸（例：左から下へ）に電流 I を流します。
-
電圧測定 (Sense): もう片方の軸（例：右から上へ）の電位差 V を測定します。
-
理論: コンタクト部以外に電流が流れないため、理論上 R = V/I でコンタクト1個の抵抗が求められます。
2. レイアウト設計における最重要注意点：δ（デルタ）の制御
CBKRの測定誤差の最大要因は、**オーバーラップ（δ: Delta）**と呼ばれる、コンタクトホールの縁から配線の端までの「はみ出し量」です。
① 電流回り込み（Current Crowding）の抑制
配線幅がコンタクト径よりも太い（δ > 0）場合、電流がコンタクトの側面や周囲に回り込んでしまい、実効的な抵抗値が小さく（あるいは寄生成分で大きく）測定されてしまいます。
-
最新の対策: 極限まで誤差を減らすには、**δ = 0（コンタクト径と配線幅を一致させる）**レイアウトが理想とされます。ただし、製造ばらつきによる合わせズレを考慮し、あえて最小限の δ を持たせるのが実務的です。
② 2D/3Dシミュレーションによる補正
近年の極微細コンタクト（数nmオーダー）では、δ をゼロにしても電流分布の不均一が生じます。
-
設計の工夫: 測定した Rmeasured に対して、シミュレーションから得られた補正係数を掛け、真の比接触抵抗ρc（Ω ・ cm2）を算出することを前提にレイアウトを標準化します。
3. 具体的なレイアウト・チップ配置のコツ
| 項目 | 具体的な設計指針 |
| タップの取り方 | 電圧を測る「アーム」は、コンタクト部の直近から引き出す。アームが長いとノイズを拾いやすくなるため、最短距離で太い配線（パッド）へ繋ぐ。 |
| 電流密度への配慮 | 微細なコンタクトに大電流を流すと、エレクトロマイグレーション（配線破壊）や自己発熱が起きます。測定電流 I を数μA単位で制御できるよう、保護抵抗やテスト仕様を設計段階で決めておきます。 |
| ダミーの排除 | CBKRの交差部周辺には、寄生容量や寄生電流を避けるため、可能な限り金属ダミーパターンを置かない「禁止領域」を設定します。 |
4. CBKR vs TLM（使い分け）
レイアウト設計時にどちらを採用すべきか迷うことが多いため、比較表をまとめました。
| 特徴 | CBKR (Cross-Bridge) | TLM (Transfer Length Method) |
| 測定対象 | 単一コンタクトの絶対値 | 複数のコンタクト＋配線の平均値 |
| 精度 | 非常に高い（低抵抗に強い） | 中程度（配線抵抗の影響を受けやすい） |
| 面積 | 十字構造のため面積を食う | 直線上に並べるためスリム |
| 主な用途 | 先端プロセスの材料評価 | 量産ラインの工程モニタ（WAT） |
次のステップへの提案
CBKRの設計において、**「使用するプロセス（例：CMOS 5nmなど）」や「測定対象の材料（例：TiN/Siコンタクトなど）」**によって、最適な δ の寸法値やアームの太さが変わります。
出典：Google Gemini
PR:
110GHz複素誘電率測定システム – FPOR製品（ネクステム株式会社）と協調してソリューション提供
弊社とネクステム株式会社は、協調して110GHz複素誘電率測定システム（FPOR：FABRY-PEROT OPEN RESONATOR）を提供いたします。 FPORお問い合せ先： ネクステム株式会社 ホームページhttp://www.nextem.co.jp/ Email: info＠nextem.co.jp 電話：06-6977-7027 システムカタログ ダウンロード ネクス[…]
 |
Dielectric constant:Dk = 1 – 15 (accuracy ± 0.2 %) Loss tangent:Df > 5 × 10–6 (accuracy ± 2 %)
１．０mmコネクタケーブルによる直接接続（VNAにエクステンダ不要）
|
PR:
 |
SDS8000Aシリーズ オシロスコープ 特長と利点 ・Coming soon |
 |
SSG6M80Aシリーズ ・Coming soon
|
 |
 |
 |
SSA6000A Series Signal Analyzer Main Features ・Coming soon
|
 |
SNA6000A Series Vector Network Analyzer Key Features
|
お礼、
T&Mコーポレーションは設立5年ですが、おかげさまで業績を着実に伸ばしており、
オフィスを港区芝（最寄り駅浜松町）に移転し、スペースも拡大いたしました。
欧米計測器メーカーが値上げをする中、(110GHz VNAでは1億円超え)
弊社では若干の値下げをさせていただき、Ceyear社110GHz VNAは5000万円以下です。
高額な設備投資を伴う製品開発では、市場投入までの時間（Time to Market）の短縮、「スピード感」が求められます。
電子計測器業界の「ゲームチェンジャー」として、高性能/高信頼/低価格/短納期を武器に
T&Mコーポレーションはお客様のご予算を最大限生かす製品群をご提案させていただいております。
