半導体CV特性アナライザの主要指標
指標項目 | 説明・詳細 | 備考 |
|---|---|---|
測定周波数範囲 | 測定に使用するAC信号の周波数範囲。例：1 kHz〜2 MHz以上 | 高周波（HF）・低周波（LF）CV測定に対応しているか要確認 |
DCバイアス範囲 | デバイスに印加可能なDC電圧の範囲。例：±100 V、最大±2000 Vなど | パワーデバイス用途では高電圧対応が重要 |
AC信号振幅（VAC） | CV測定に使用されるAC信号の振幅。例：10 mV〜1 V | 小信号測定か大信号印加か、材料・デバイスにより異なる |
容量測定レンジ | 測定可能な静電容量の範囲。例：1 fF〜1 μF | MOSキャパシタや微小構造体では高分解能が求められる |
容量測定分解能 | 最小ステップで測定可能な容量の単位。例：0.1 fF、1 fFなど | 微細プロセスや先端材料の評価では重要 |
測定速度（サンプリングレート） | 電圧ステップごとの測定時間。例：1 ms/point以下 | 高速スイープによる信頼性試験・大量測定に有効 |
準静的測定対応 | Quasi-Static CV測定の対応有無 | トラップ準位評価や絶縁特性解析で必要 |
漏れ電流モニタ機能 | CV測定中のDCリーク電流を同時モニタ可能かどうか | 高電圧印加時の安全性・信頼性評価に有効 |
ドーピングプロファイル解析機能 | CV測定から自動で不純物分布を導出できる機能の有無 | ソフトウェア内蔵機能として評価される |
サンプル対応電極構成 | トップコンタクト／バックコンタクト対応の有無 | プローブステーションとの接続互換性にも注意 |
安全性・保護機能 | 過電流保護、絶縁トランス、インターロックなどの有無 | 高電圧用途では必須項目 |
解析ソフトウェア | 測定制御・データ解析ソフトの有無と機能性 | GUIの使いやすさや結果の出力形式もポイント |