製品名
高電圧半導体CV特性測定器 TECHMIZE TH51Xシリーズ
シリーズ
TH51X
メーカー
特長
• 高バイアス:VGS: 0 – ±40V、VDS: 0 – 200V/1500V/3000V
• インピーダンス測定周波数:1kHz~2MHz、分解能10mHz~
• 4つの寄生パラメータ(Ciss、Coss、Crss、Rg)を同時に表示
• CVカーブスキャン、Ciss-Rgカーブスキャン
• 3つのテスト方法:スポットテスト、リストスキャン、グラフィックスキャン(オプション)
• 統合デザイン:LCR + VGS低電圧源 + VDS高電圧源 + チャンネルスイッチング + PC
• 標準2チャンネルテスト、2つのデバイスまたはデュアルチップデバイスを同時にテスト可能、
チャンネルは6まで拡張可能、チャンネルパラメータは個別に保存
• 高速充電、コンデンサ充電時間を短縮し、高速テストを可能
• デュアルCPUアーキテクチャ、LCR測定機能の最速テスト速度は0.56ms
• 10.1インチ容量性タッチスクリーン、解像度1280*800、Linuxシステム
• 10ビンソーティング
-

-
TH510シリーズ半導体C–V特性アナライザは、最大6チャンネルおよび4つの測定パラメータに対応したテストと解析をサポートします。
リストスキャンモードでは、異なるチャンネル、異なるパラメータ、異なる測定条件の任意の組み合わせに対応し、しきい値の設定と測定結果の表示が可能です。
-
TH510シリーズ半導体C–V特性アナライザは、C–V特性カーブの解析をサポートしており、対数および線形の方法でカーブスキャンを実現できます。また、同一パラメータかつ異なるVgの複数カーブ、同一Vgかつ異なるパラメータの複数カーブを同時に表示することが可能です。
-

-

-
パラメータは任意に選択でき、オン/オフの切り替えが可能です。不要なパラメータをオフにすることで、測定時間やデータ転送の効率を向上させることができます。遅延時間は自動または手動で設定可能であり、ゲート抵抗はドレイン-ソース短絡またはドレイン-ソース開放から選択できます。
グラフィカルな設定インターフェースを使用することで、機能パラメータが回路図設定に対応し、一目で確認できます。
-

-
TECHMIZE社は顧客に対してオープンな設計を採用しており、すべてのインターフェースと命令セットは公開されています。顧客自身で機能の統合やカスタマイズをプログラムすることが可能です。ハードウェアの変更が伴わないカスタム機能であれば、ファームウェアのアップグレードによって直接更新が可能です。
本製品は、豊富な機能、バグ修正、機能拡張などを備えており、工場に返送することなくファームウェアのアップデートで改善・追加が可能です。
ファームウェアのアップグレードは非常にスマートで、システム設定画面やファイル管理画面から実行できます。装置内部のメモリ、外部USBフラッシュドライブ、またはローカルネットワーク内のアップグレードパッケージを自動で検索し、アップグレードを実行します。
価格・仕様
| 型名 | TH511 | TH512 | TH513 | ||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 価格(税込み) | ¥3,168,000 | ¥4,312,000 | ¥8,360,000 | ||||
| チャンネル数 | 2 (4/6 Ch オプション) | 1 | |||||
| ディスプレイ | ディスプレイ | 10.1 インチ タッチ・スクリーン | |||||
| アスペクト比 | 16:9 | ||||||
| 解像度 | 1280*RGB*800 | ||||||
| 測定パラメータ | Ciss, Coss, Crss, Rg | ||||||
| テスト周波数 | 範囲 | 1kHz-2MHz | |||||
| 確度 | 0.01% | ||||||
| 分解能 | 10mHz 1.00000kHz-9.99999kHz | ||||||
| 100mHz 10.0000kHz-99.9999kHz | |||||||
| 1Hz 100.000kHz-999.999kHz | |||||||
| 10Hz 1.00000MHz-2.00000MHz | |||||||
| テスト・レベル | 電圧範囲 | 5mVrms-2Vrms | |||||
| 確度 | ± (10%*設定値+2mV) | ||||||
| 分解能 | 1mVrms 5mVrms-1Vrms | ||||||
| 10mVrms 1Vrms-2Vrms | |||||||
| Vgs | 範囲 | 0 – ±40V | |||||
| 確度 | 1%* 設定値+8mV | ||||||
| 分解能 | 1mV 0V – ±10V | ||||||
| 10mV ±10V – ±40V | |||||||
| Vds | 範囲 | 0 – 200V | 0 – 1500V | 0 – 3000V | |||
| 確度 | 1%* 設定値+100mV | ||||||
| 出力インピーダンス | 100Ω, ±2%@1kHz | ||||||
| 偏差測定機能 | 絶対偏差Δ 、パーセント偏差Δ% | ||||||
| 補正機能 | OPEN, SHORT, LOAD | ||||||
| アベレージ | 1-255 times | ||||||
| 測定時間 (ms/time) | Fast+: 0.56ms (>5kHz), Fast: 3.3ms, Middle: 90ms, Slow: 220ms. | ||||||
| 基本確度 | 0.1% | ||||||
| Ciss, Coss, Crss | 0.00001pF – 9.99999F | ||||||
| Rg | 0.001mΩ – 99.9999MΩ | ||||||
| Δ% | ±(0.000% – 999.9%) | ||||||
| リスト掃引 | ポイント数 | 20ポイント、ポイント毎に平均数を設定可能 | |||||
| パラメータ | テスト周波数, Vg, Vd, チャンネル | ||||||
| トリガ・モード | シーケンス、ステップ | ||||||
| グラフィック掃引 | ポイント数 | 最大 1001 ポイント | |||||
| 測定結果 | 同じパラメータと異なる Vg を持つ複数の曲線 同じ Vg と異なるパラメータを持つ複数の曲線 |
||||||
| 表示範囲 | 自動、固定 | ||||||
| 座標軸 | ログ、リニア | ||||||
| パラメータ | Vg, Vd | ||||||
| トリガ・モード |
シングル、連続 |
||||||
| 測定結果のセーブ | グラフィック、ファイル | ||||||
| コンパレーター | Bin | 10Bin, PASS, FAIL | |||||
| Bin偏差設定 | 偏差, %偏差, Off | ||||||
| Binモード | トレランス、 連続 | ||||||
| Binカウント | 0-99999 | ||||||
| Bin判定 | 各ビンには最大4つのパラメータ制限範囲を設定できます。4つのテストパラメータの結果設定範囲内で、対応するビン番号が表示されます。設定された最大ビン番号範囲を超えると、FAILが表示されます。上限と下限が設定されていないテストパラメータは自動的に無視されます。 | ||||||
| PASS/FAIL表示 | Bin1-10 の条件を満たすと、フロント パネルの PASS ライトが点灯します。それ以外の場合は FAIL ライトが点灯します。 | ||||||
| データ・ストレージ | 201の測定結果を一括で読み取ることができます | ||||||
| セーブ/リコール | 内部 | 約 100M 不揮発性メモリ、設定ファイル | |||||
| 外部USBメモリ | 設定ファイル、スクリーンショット、ログファイル | ||||||
| キーボード・ロック | ロック可能 | ||||||
| インターフェース | USBホスト | 2ポート | |||||
| USBデバイス | 1ポート | ||||||
| LAN | 10/100M イーサネット | ||||||
| ハンドラー | Bin 信号出力用 | ||||||
| RS232C | 9-pin, クロス | ||||||
| 起動後の暖機時間 | 60 分 | ||||||
| 電源 | 100-120VAC / 198-242VAC, 47-63Hz | ||||||
| 消費電力 | 130VA 以下 | ||||||
| 寸法 (W*H*D) mm | 430*177*405 | ||||||
| 重量 | 12kg | ||||||
付属品及びオプション
標準付属アクセサリ
| 型名 | 製品写真 | 名称 |
|---|---|---|
| TH26063B | |
テスト・フィクスチャ |
| TH26063C | ![]() |
テスト・フィクスチャ |
| TH26063D | ![]() |
TH510 フィクスチャ制御接続ケーブル |
| TH26063G | ![]() |
TH510 測定延長ケーブル |
資料
製品カタログ
TECHMIZE 総合カタログ 英語版アプリケーション・用途
半導体CV特性アナライザ TECHMIZE TH51Xシリーズ 操作手順書(日本語版)FAQ
デモ機の貸出対応は可能でしょうか。
本製品のデモ機を無償で貸出は可能です。
貸出期間は約1週間です。例えば、水曜日お客様着から翌水曜日弊社着まで、祝日を挟む場合、遠方のお客様の場合は、そのぶん考慮させていただきます。
弊社まで返送する際の送料はお客様にご負担いただきます。
ご希望の日程と送り先をお教えください。
製品の保証期間について
本製品の保証期間について、製品のご購入日から製品本体( 3年間)、アクセサリー (1年間)となっております。
非該当証明書の発行について
下記の情報をご提供頂ければ、弊社経由で非該当証明書を発行致します。
型名:
シリアル番号:
購入先(販売店名):
購入日:
輸出元会社名(国内の会社名):
輸出先国名:
輸出先会社名:
輸出目的(例:自社使用、現地販売、技術サポートなど):
TECHMIZE製品は購入時の校正書類対応可能ですか?
TECHMIZE製品は出荷時有料で3点セット(校正証明書・成績証明書・トレサビリティ体系図)対応可能です。
お見積り金額について、別途お問い合わせしてください。








