TECHMIZE TH2691H fA計 0.01fA～20mA

材料科学

バイオマテリアル、セラミックス、ゴム、フィルム、誘電体材料、電気化学材料、強誘電材料、グラフェン、金属、有機材料、ナノ材料、ポリマー、半導体など。

電子部品

コンデンサ、抵抗器、ダイオード、センサ、TFTおよびCNT、光電子デバイス、太陽電池などのトランジスタの種類。

電子/非電子システム

イオンビーム、電子ビーム、センサーシステム、粒子計測、埋め込み精密計器など。

■製品仕様：
高抵抗計/fA計/電位計、 6½桁、 電流: 0.1fA-20mA、
抵抗: 1PΩ、 電圧: 1μV -20V、 チャージ: 1fC-2μC、
電圧源: ±1000V、 温度と湿度の測定、
5インチ・タッチスクリーン、 Linux

■ 多機能選択

多機能：高抵抗計、電流計、電圧計、静電計、電圧源

■電流測定分解能：0.01 fA

材料の特性を研究したり、デバイスの性能を評価する際には、fAやEΩといった極めて小さい電流や高い抵抗を測定する必要があります。
しかし、従来のデジタルマルチメータ（DMM）ではこれらの要求を満たすことができません。TH2690シリーズのフェムトアンメータ／エレクトロメータは、業界をリードする 0.01 fAの電流測定分解能 と 3EΩの抵抗測定 を実現し、材料測定を完全にカバーするとともに、現在および将来の測定ニーズに対応します。

■ カーブグラフ（時間軸ビュー）表示

TH2690シリーズは、I-t、V-t、R-t、Q-t、I-R グラフなど、さまざまなカーブグラフを容易に描画することができます。
（具体的なグラフ表示機能は使用する製品モデルによって異なります。）
高感度な測定を行う際、この強力で包括的なグラフ表示機能により、貴重なデータを容易に取得することが可能になります。

■ヒストグラム表示

あらゆる測定環境には必ず一定のノイズ変動が存在するため、低レベル測定データには統計的不確かさが伴います。従来の方法では、測定終了後にヒストグラムを作成して（通常はコンピュータ上で）データを評価します。しかし、複数回の測定やテスト設定のデバッグを行う場合、このプロセスは非常に長くなることがあります。
TH2690シリーズは、リアルタイム自動スケーリング機能付きのヒストグラム表示を搭載しており、測定後のデータ処理を必要とせず、迅速に測定設定をデバッグできます。ヒストグラムは測定データの下に表示され、累積データをリアルタイムの測定データと比較するのに便利です。

■電圧源の波形出力

TH2690シリーズは、単一ステップ波形、二重ステップ波形、矩形波、カスタムリスト出力の設定が可能です。
「Settings - Source Settings」タブをクリックすることで設定を行うことができます。設定インターフェースは以下の通りです。
その中で、矩形波モードはパルス出力に対応しています。設定可能な最小パルス幅は 10 ms、パルス幅設定の分解能は 1 ms です。

■ソート機能

TH2690シリーズは試験結果を判定し、分類することができます。モードは「グレーディング」と「ソーティング」の2種類があり、最大で7つの判定条件を設定可能です。設定インターフェースは右図の通りです。
グレーディングモード
不合格が出るまで順にリミット判定を行い、現在の不合格位置を出力します。すべてが合格した場合は、最後の合格位置が出力されます。
ソーティングモード
合格が出るまで順にリミット判定を行い、現在の合格位置を出力します。すべて不合格の場合は、最後の不合格位置が出力されます。

■HANDLERインターフェース定義

ピン1、2、3は信号入力ピンであり、図中の IN1、IN2、IN3 に対応します。信号定義は変更可能です。
ピン4、5、6、7は信号出力ピンであり、図中の OUT4、OUT5、OUT6、OUT7 に対応します。信号出力モードは変更可能です。

■エラーメッセージ

操作ミスや機器のセルフチェック失敗などの問題が発生した場合、エラーメッセージが機器下部の情報バーに表示されます。
「Tools - Error Information」アイコンをクリックすると、警告情報を確認でき、案内に従ってエラーを解消することができます。

■体積抵抗 Rv と体積抵抗率 ρv の測定

電圧源 Vs を上部電極に印加し、試料を流れる電流を Im として測定します。
その後、体積抵抗 Rv は以下の式で算出されます：
Rv=Vs/Im
​試料からガード電極へ流れる大電流や、上部電極からガード電極へ流れる表面電流はいずれも漏れ電流ですが、これらの電流はすべて Vs の低電位側に流れ込み、Rv 算出に用いる電流計電流 (Im) の大きさには影響しません。
体積抵抗率 ρv は次式で求められます：
ρv=(EAR​/STH)×Rv

EAR = 有効面積
STH = 試料の厚さ

■表面抵抗 Rs と表面抵抗率 ρs の測定

電圧源 Vs をガードリング電極に印加します。試料表面上では、ガード電極から主電極へ電流が流れ、この表面電流を Im とします。
表面抵抗 Rs は次式で算出されます：
Rs=Vs/Im

​ガードリングから上部電極へ流れる電流は漏れ電流ですが、この電流は Vs の低電位側に流れ込み、Rs 算出に用いる電流計電流 (Im) の大きさには影響しません。
表面抵抗率 ρs は次式で算出されます：

ρs=(EPER​/GLEN)×Rs

EPER = 有効周長
GLEN = ギャップ長