YMTCのXtacking®技術の詳細

GLOSSARY

YMTCのXtacking®（エクスタッキング）技術は、従来の3D NANDフラッシュメモリの構造的な制約を打破し、性能と集積度を大幅に向上させるためにYMTCが独自開発したアーキテクチャです。

この技術の最大の特徴は、メモリセルアレイと周辺CMOS回路を別々のウェーハで製造し、それらを高精度に接合（スタッキング）する点にあります。

Xtacking®技術の詳細と原理

1. 分離製造とハイブリッド接合の原理

従来の3D NANDでは、メモリセルアレイ（データを記憶する部分）と周辺回路（読み書きを制御するロジック）を同じウェーハ上に一体で製造していました。しかしXtacking®はこれを分離します。

部品	製造ウェーハ	プロセス
NANDメモリセルアレイ	1枚目のウェーハ	高温プロセスに特化。積層数を増やすことに集中できる。
CMOS周辺回路	2枚目のウェーハ	高速・微細なロジックCMOSプロセスに特化。
接合	ウェーハ・ツー・ウェーハ (Wafer-to-Wafer) 方式のハイブリッドボンディングにより、数百万個の金属ビア（金属柱）を介して電気的に接続します。

2. Xtacking®の主なメリット

この分離と接合のアーキテクチャにより、以下の画期的な利点が得られます。

A. I/O速度（データ転送速度）の高速化

従来の課題: 従来の一体構造では、メモリセルアレイの製造に必要な高温処理が、周辺回路（CMOSロジック）の性能を劣化させてしまうという問題がありました。このため、I/O速度に制限が生じていました。
Xtacking®の解決: 周辺回路を高温の影響を受けない別のウェーハで製造できるため、高性能で微細なロジックプロセスを適用できます。これにより、I/O速度をDDR4 DRAMに匹敵する3Gb/sレベルまで大幅に引き上げることが可能になりました。

B. ビット密度（集積度）の向上

従来の課題: 従来の構造では、周辺回路がチップ面積の20%〜30%を占有していました。積層数が増えるほど、周辺回路の面積も相対的に大きくなる傾向があり、全体のビット密度を低下させていました。
Xtacking®の解決: 周辺回路をメモリセルアレイの下（または上）に積層するため、セルアレイのフットプリント（占有面積） を最大限に活用できます。これにより、同じ積層数でも、既存の3D NAND技術と比較して20%〜30%の容量密度向上（チップ面積の縮小）が可能になります。

C. 開発・製造サイクルの短縮

メモリセルアレイと周辺回路を別々のチーム、別々のプロセスラインで並行して開発・製造できるため、全体の製品開発期間を短縮することができます。

3. Xtacking®の進化

YMTCは、世代を重ねるごとにXtacking®を改良しています。

Xtacking® 2.0: 128層製品で導入され、QLC（Quad-Level Cell）など高容量化に対応するとともに、I/O速度をさらに向上させました。

このXtacking®技術は、YMTCが世界のNANDフラッシュ市場に参入してわずか数年で、トップメーカーに匹敵する高積層化を実現した最大の要因となっています。

	SSG6M80Aシリーズマルチチャネル・コヒーレント・マイクロ波信号発生器主な特長・最大周波数 13.6 GHz/20 GHz ・出力周波数分解能最大0.001 Hz ・位相ノイズ < -136 dBc/Hz @ 1 GHz、オフセット 10 kHz（測定値）・コヒーレントモード、搬送周波数 = 10 GHz、周囲温度変動 ±2℃、観測時間 5時間、位相変動 < 1.5° ・チャンネル間の周波数、振幅、位相を個別に調整可能。単一デバイスチャンネル同期および複数デバイスチャンネル位相同期をサポート。位相メモリ機能搭載・アナログ変調、パルス変調（オプション）

	SSA6000A Series Signal Analyzer Main Features ・Measurement Frequency Range: 2 Hz ~ 50 GHz ・IQ Analysis Bandwidth: 1.2 GHz ・Real-time Spectrum Analysis Bandwidth: 400 MHz ・Phase Noise: -123 dBc/Hz @ 1 GHz, 10 kHz offset ・DANL: Less than -165 dBm/Hz ・Demodulation and analysis of signals from multiple mobile communication standards including 5G NR, LTE/LTE-A, WLAN, and IoT, as well as wireless connections.
	SNA6000A Series Vector Network Analyzer Key Features ・Frequency Range: 100 kHz ~ 50 GHz ・Dynamic Range: 135 dB ・IF Bandwidth Range: 1 Hz ~ 10 MHz ・Output Power Setting Range: -60 dBm ~ +20 dBm ・Supports 4-port (2-source) S-parameter measurements, differential (balanced) measurements, time-domain analysis, scalar mixer measurements, etc. ・Optional accessories include electronic calibration kits, switch matrix, and mechanical switches.
	SDS8000Aシリーズオシロスコープ特長と利点 4チャンネル + 外部トリガーチャンネルアナログチャンネル帯域幅：最大16GHz(8/13/16GHz) リアルタイムサンプリングレート：最大40GSa/s（全チャンネル同時） 12ビットADC 低ノイズフロア：16GHz帯域幅で176μVrms SPOテクノロジー・波形キャプチャレート：最大200,000フレーム/秒・ 256段階の波形輝度と色温度表示をサポート・最大2Gポイント/チャンネルのストレージ容量・デジタルトリガー