GLOSSARY用語集SEM

• ゲートバイアス（Gate Bias）とは

  ゲートバイアス（Gate Bias）とは ～MOS構造やFETの動作制御に不可欠な電圧パラメータ～ ■ 定義 **ゲ…

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• スイープ機能・ロギング機能とは

  スイープ機能・ロギング機能とは ～電源・SMU・測定器を使いこなすための基礎知識～   スイープ機能（S…

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• CVU（Capacitance–Voltage Unit）とは

  CVU（Capacitance–Voltage Unit）とは ～半導体デバイスのC–V測定に特化した専用測定モジュール～ ■ …

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• C–Vプロファイリング（C–V Profiling）とは

  C–Vプロファイリング（C–V Profiling）とは ～半導体中のドーピング分布や拡散深さを非破壊で評価する解…

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• 酸化膜電荷（Oxide Charge）とは

  酸化膜電荷（Oxide Charge）とは ～MOS構造における電気的特性に大きく影響する固定電荷～ ■ 定義 **…

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• MOSキャパシタ（MOS Capacitor）とは

  MOSキャパシタ（MOS Capacitor）とは ～金属‐酸化膜‐半導体構造を持つ基本的なC–V測定用デバイス～ ■ …

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• 温度依存C–V特性とは

  温度依存C–V特性とは ～温度変化によって変動する半導体デバイスのC–V挙動～ ■ 定義 **温度依存C–V特…

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• ドーピングプロファイル（Doping Profile）とは

  ドーピングプロファイル（Doping Profile）とは ～半導体中の不純物濃度分布を可視化する重要パラメータ…

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