アンリツ社 VNA Calibration and De-embedding

アンリツ（Anritsu）のVNAにおける誤差補正とディエンベディングについて、メーカーが公開している実践的なアプローチを整理しました。アンリツのVNA（VectorStarやShockLineシリーズ）では、これらの機能が非常に体系化されています。

1. アンリツのディエンベディング・ソリューション

アンリツのVNAには、アダプタやテストフィクスチャの影響を取り除くための機能が組み込まれています。これらは主に「Embed/De-embed (E/DE)」システムとして提供されています。

• E/DE (Embedding/De-embedding) システム:

  • 測定対象（DUT）の周囲にあるアダプタや治具を数学的に除去（De-embedding）または付加（Embedding）する機能です。

  • アダプタの特性を .s2p ファイルとして読み込ませることで、実時間で補正後のSパラメータを表示できます。

• UFX (Universal Fixture Extraction):

  • 治具の特性が未知の場合、いくつかの標準器（キャリブレーションキット）を測定することで、その治具の特性を自動抽出する機能です。特に基板上のデバイス測定などで、コネクタからDUTまでの経路を消去したい場合に重宝されます。

2. アンリツ推奨の資料（アプリケーションノート）

実務で非常に役立つ資料が公開されています。以下のタイトルで検索するか、アンリツのダウンロードセンターで確認することをお勧めします。

• 「De-embedding and Network Extraction Application Note (11410-01032A)」

  • 内容: アダプタやフィクスチャをディエンベディングするための「6つの手法」が詳細に解説されています。今回のようなN-SMA変換アダプタを使用する場合の最適な設定（Multi-Standard法やPhase Localized法など）の選択基準がわかります。

• 「Performing Sequential Peeling Extraction and De-Embedding with an Anritsu ShockLine VNA」

  • 内容: 伝送線路の途中に不連続点がある場合などに、「シーケンシャル・ピーリング（順次剥離）」という手法でモデル化する方法が説明されています。

• VectorStar / ShockLine 各シリーズの「Calibration and Measurement Guide」

  • 内容: 各機種のメニュー操作、E/DEの設定手順、そして校正キットの取り扱いが網羅されています。

3. 次に実践すべきステップ

アダプタ（N-SMA）を使用してDUTを測定する場合、以下の手順で進めるのが最も確実です。

1. アダプタの特性を取得する: * 可能であれば、校正後にそのアダプタ単体を測定し、.s2p ファイルとして保存します（これが最も精度が高いです）。

2. VNAのE/DE機能へ読み込む:

   • VNAの設定メニューにある「Embedding/De-embedding」を開き、取得したアダプタのファイルをロードします。

3. ポートの指定:

   • アダプタが「DUTの直前（計測面）」に来るようにポートを指定し、補正をオンにします。

アドバイス：

アンリツのVectorStarやShockLineのユーザーであれば、**「UFX機能」**が使えるか確認してみてください。もし手元に校正キットがあるなら、アダプタを装着した状態でいくつか標準器を測るだけで、VNAが勝手にアダプタの特性を計算してくれます。これが最も手っ取り早く、かつヒューマンエラーが少ない方法です。