SMM3312Xを用いたFETのIV特性測定方法 Id-Vds編
1. 概要
FETのIV特性測定では、CH1とCH2の2CHを使用します。
CH1ではゲート電圧を2V~2.5Vまで掃引します。掃引のステップ数は6とします。
CH2はVdsとして出力を0V~5V掃引し、流れる電流Idを測定します。出力電流は7Aまでとしてパルス出力します。ステップ数は51とします。
動作としては、CH1でゲート電圧を決め、そのゲート電圧でどれだけドレイン電流が流れるかをCH2の電圧(Vds)を掃引しながら測定します。CH2の電流測定が終わったら、CH1のVgs電圧を次の電圧に上げて測定します。これを繰り返します。
2.1 外部配線
2.1 FETとの接続

2.2 Digital IOの結線
SMM3000X後面のDigital IOは、CH1とCH2の間でトリガの受け渡しを行うため以下のように結線します。
Pin1~Pin9 、Pin2~Pin10

3. チャンネル設定
3.1 Measureの設定
チャンネルのMeasure設定の方法は、Id-Vgs編を参照してください。
各CHは以下のように設定します。
CH1:
SOURCE:電圧出力
MEASURE:電圧測定
CH2:
SOURCE:電圧出力
MEASURE:電流測定

3.2 SWEEP設定
CH1のSweep設定:
CH1はFETのゲート電圧とします。2.0-2.5Vの範囲で6ポイントを設定します。CH1画面を拡大し、AWGボタンをタッチします。Sweepをタッチします。SweepをON、Start:2.0V、Stop:2.5V、Points:6に設定します。

Sweep Settingをタッチします。
Output After Sweep/ListをEND VALUEに設定します。

CH2のSweep設定:
画面左の“2”の部分をタッチし、Pulseをタッチします。CH2は3A以上流すのでPulseモードで掃引します。PulseをON、Delay:0s、Width:650usに設定します。

CH2のSweep設定行います。
SweepをON、Start:0mV、Stop:5V、Points:51に設定します。

Sweep Settingは以下のように設定します。

Home画面に戻ります。
3.3 Trigger設定
CH1のTrigger設定:
CH1の設定画面を拡大し、Triggerボタンをタッチします。

Configボタンをタッチします。

CH1のARMレイヤの設定:
Layer:ARM、Action:ACQに設定します。

Layer:ARM、Action:TRANS設定します。

CH1 Triggerレイヤの設定:
Layer:TRIGGER、Action:TRANSに設定します。

Layer:TRIGGER、Action:ACQに設定します。

CH1 ACTIONレイヤの設定:
Layer:Action、Action:ACQに設定します。

Layer:Action、Action:TRANSに設定します。

CH2のTrigger設定:
CH2 ARMレイヤの設定:
Layer:ARM、Action:ACQに設定します。

Layer:ARM、Action:TRANSに設定します。

Triggerレイヤを設定します。

Layer:TRIGGER、Action:ACQに設定します。

ACTIONレイヤの設定を行います。
Layer:ACTION、Action:ACQに設定します。

Layer:ACTION、Action:TRANSに設定します。

3.4 トリガピン設定
CH1とCH2のトリガの受け渡しのための設定を行います。
フロントパネルのMENUボタンを押すか、画面上部のMENU部分をタッチしてメニュー画面に入ります。

I/Oのボタンをタッチします。

DirectionでOUTPUTを選び、pin1を以下の設定にします。
Direction: OUTPUT
Pin#: pin.1
Function: TRIGGER
Output Trigger Timing: BEFORE
Output Pulse Width: 100us

DirectionでOUTPUTを選び、pin2を以下の設定にします。
Direction: OUTPUT
Pin#: pin.2
Function: TRIGGER
Output Trigger Timing: AFTER
Output Pulse Width: 100us

DirectionでINPUTを選び、pin9及びpin10を以下の設定にします。


4.設定の保存と読み出し
設定は以下の方法で保存可能です。フロントパネルのMENUボタンを押すか、画面上部のMENU部分をタッチしてメニュー画面に入りSaveをタッチします。

何を保存するか聞いてくるので、Configを選択します。

File Nameにファイル名を入力してOKを押すと設定が保存されます。USBメモリを接続した場合は、USBメモリに保存も可能です。

設定の読出しはMENUのLoadボタンをから可能です。フロントパネルのMENUボタンを押すか、画面上部のMENU部分をタッチしてメニュー画面に入りLoadをタッチします。

読み込むファイルを聞いてくるので、ConfigのLoadボタンをタッチする。

読み込みたいファイルを選択して、OKを押すと設定が読み込まれます。

5. I-V測定
測定の配線、Trigger入出力が正しく接続されていることを確認し、測定を開始する。測定は、HOME画面のIDLE部をタッチし、Initiate-> Allで開始することができます。

測定が終了後は出力をOFFにします。
6.測定結果の確認
CH1を拡大し、Resultをタッチします。
CH1の測定結果が表示されます。

同様に、CH2のResultも確認します。するとCH2の結果に移動できます。

7. データの保存
外部USBメモリに保存の場合は、USBメモリをフロントパネルのUSBコネクタに挿入します。Result画面で、Saveをタッチします。

Measureをタッチします。

USBメモリ(U-disk0)を選択し、File Nameを入力し、OKを押すとデータがUSBメモリに保存されます。

CH1も同様に保存します。
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