XAU-4CS 蛍光X線膜厚計・成分分析計（SDD検出器）

・コーティング分析
・新素材の検査
・地質・鉱物検査
・貴金属の検査
・合金成分分析
・P含有量の測定
・DPP+FAST SDD検出器によるナノレベルの測定精度
測定精度がナノメートル級に達します。

匠の技が込められた新世代のデザインは、独自のハイテク感を備えた多機能型分光計です。先進的なEFPアルゴリズムと微光集光技術を採用するとともに、新世代のマルチチャンネル・タイムシーケンス配置を組み合わせることで、専用厚さ測定器が持つ微小サンプルや溝の測定性能を維持しつつ、微小領域のRoHS検査や全元素分析にも対応しています。どの機能も最高水準のプロフェッショナルな性能を備えています。

マイクロフォーカス強化型X線発生装置と先進的な光路変換集光システムを搭載し、最小測定面積は0.03mm²です。

Li(3)-U(92)元素のコーティング層について、多層・多元素構成のものや、同一元素が異なる層に存在する場合であっても、高精度に測定できます。

各装置は高度に統合されており、光強度が分散したり弱まったりすることがなく、RoHS、全元素分析、さまざまな大きさや形状のコーティング・メッキ試料の迅速かつ高精度な測定を完全に両立させることができます。

ELITEが独自開発した光路交換装置は、X線と可視光を同一垂直線上に導き、異なる測定距離でも位置決めと視野を同じ位置に保ちます。内蔵一体型の多孔コリメータとフィルター切替装置を組み合わせることで、X線の拡散度を極めて小さく抑えます。EFPソフトウェアと連携して合焦・ズームの2つのフォーカス機能を実現し、高さや大きさの異なる凹凸・異形試料を測定できます。高集積の光路交換装置により検出器との角度を半分に縮小でき、傾き・反りのある試料による誤差を低減すると同時に、特性X線がより厚い表層まで透過測定できます。