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特長

XU-100 下面照射型蛍光X線膜厚計

・コーティング厚さの分析
・各層の合金成分分析
・RoHS検査
・検査速度が速い
・ズーム装置のアルゴリズム
・高精度ミニチュア移動レール
・より高いコストパフォーマンス
・長寿命
・下面照射式設計
サンプルへの位置決めとピント合わせを素早く簡単に行えます。
・マイクロフォーカスX線装置
最短測定距離でのスポットの広がり10%以内で、各種めっき層の膜厚検査が可能です。
・Pro-SDプロセッサ+PC/DPP+FAST SDD(オプション)
微小サンプルの測定でも数秒で安定した結果が得られます。
・先進的なEFPアルゴリズム
多層・多元素、同一元素が異なるめっき層にある場合も含め、素早く正確かつ安定したデータ分析が可能です。

 

まったく新しい下面照射方式を採用し、コストパフォーマンスに優れ汎用性の高いモデルです。各種の平面部品、異形部品、めっき液の検査を簡単かつ迅速に行え、検査結果を自動判定できます。

各種金属めっき層を検査でき、検出下限値は0.005μmです。

 

価格・仕様

モデル XU-100
価格(税込) お問い合わせください
ソフトウェアの操作 使いやすいクローズド設計のソフトウェア。不具合を自動判定して校正・操作手順を表示し、誤操作を防止します。
検出器・信号処理 Pro-SDプロセッサ+PC/DPP+FAST SDD(オプション)
X線装置 マイクロフォーカスX線管
コリメータ φ0.1mm/φ0.2mm/0.5mm/5mm(4コリメータ構成はオプション)
フォーカス方式 高感度レンズ、マニュアルフォーカス
装置の寸法 550mm×360mm×410mm
サンプルステージの移動 オプションの高精度XY手動移動プラットフォーム
可動範囲 50mm×50mm
コーティングの分析範囲 Li(3)-U(92)
アルゴリズム 独自に開発したEFPアルゴリズム
分析ソフトウェア 5つのめっき層、10種類の元素を同時に分析
微光集光技術 最短測定距離でのスポットの広がり10%以内
測定距離 距離補正機能を備えており、測定距離を変更して凹凸のある異形サンプルの測定が可能で、ズーム距離は0~30mmです。
試料の観察 1/2.7インチカラーCCD、ズーム機能
RoHS オプション
フィルター オプションの統合型組み込み式マルチフィルター切替装置
倍率 光学38~46X、デジタル40~200倍
サンプルチャンバーの寸法 長さ400mm×幅320mm×高さ150mm
測定元素範囲 Cl(17)/Al(13)-U(92)

付属品及びオプション

品名 XU-100(0.1) XU-100(0.2) XU-100(0.5)
パソコン一式 標準付属品 標準付属品 標準付属品
プリンター 標準付属品 - -
付属品ケース 標準付属品 標準付属品 標準付属品
12元素標準試料 標準付属品 標準付属品 標準付属品
標準試料 標準付属品 オプション オプション
めっき液測定カップ オプション オプション オプション