製品名
ELITE XU-100 下面照射型蛍光X線膜厚計
シリーズ
XU-100
価格
メーカー
用途
特長
XU-100 下面照射型蛍光X線膜厚計
・コーティング厚さの分析
・各層の合金成分分析
・RoHS検査
・検査速度が速い
・ズーム装置のアルゴリズム
・高精度ミニチュア移動レール
・より高いコストパフォーマンス
・長寿命
・下面照射式設計
サンプルへの位置決めとピント合わせを素早く簡単に行えます。
・マイクロフォーカスX線装置
最短測定距離でのスポットの広がり10%以内で、各種めっき層の膜厚検査が可能です。
・Pro-SDプロセッサ+PC/DPP+FAST SDD(オプション)
微小サンプルの測定でも数秒で安定した結果が得られます。
・先進的なEFPアルゴリズム
多層・多元素、同一元素が異なるめっき層にある場合も含め、素早く正確かつ安定したデータ分析が可能です。
まったく新しい下面照射方式を採用し、コストパフォーマンスに優れ汎用性の高いモデルです。各種の平面部品、異形部品、めっき液の検査を簡単かつ迅速に行え、検査結果を自動判定できます。
各種金属めっき層を検査でき、検出下限値は0.005μmです。
価格・仕様
| モデル | XU-100 |
|---|---|
| 価格(税込) | お問い合わせください |
| ソフトウェアの操作 | 使いやすいクローズド設計のソフトウェア。不具合を自動判定して校正・操作手順を表示し、誤操作を防止します。 |
| 検出器・信号処理 | Pro-SDプロセッサ+PC/DPP+FAST SDD(オプション) |
| X線装置 | マイクロフォーカスX線管 |
| コリメータ | φ0.1mm/φ0.2mm/0.5mm/5mm(4コリメータ構成はオプション) |
| フォーカス方式 | 高感度レンズ、マニュアルフォーカス |
| 装置の寸法 | 550mm×360mm×410mm |
| サンプルステージの移動 | オプションの高精度XY手動移動プラットフォーム |
| 可動範囲 | 50mm×50mm |
| コーティングの分析範囲 | Li(3)-U(92) |
| アルゴリズム | 独自に開発したEFPアルゴリズム |
| 分析ソフトウェア | 5つのめっき層、10種類の元素を同時に分析 |
| 微光集光技術 | 最短測定距離でのスポットの広がり10%以内 |
| 測定距離 | 距離補正機能を備えており、測定距離を変更して凹凸のある異形サンプルの測定が可能で、ズーム距離は0~30mmです。 |
| 試料の観察 | 1/2.7インチカラーCCD、ズーム機能 |
| RoHS | オプション |
| フィルター | オプションの統合型組み込み式マルチフィルター切替装置 |
| 倍率 | 光学38~46X、デジタル40~200倍 |
| サンプルチャンバーの寸法 | 長さ400mm×幅320mm×高さ150mm |
| 測定元素範囲 | Cl(17)/Al(13)-U(92) |
付属品及びオプション
| 品名 | XU-100(0.1) | XU-100(0.2) | XU-100(0.5) |
|---|---|---|---|
| パソコン一式 | 標準付属品 | 標準付属品 | 標準付属品 |
| プリンター | 標準付属品 | - | - |
| 付属品ケース | 標準付属品 | 標準付属品 | 標準付属品 |
| 12元素標準試料 | 標準付属品 | 標準付属品 | 標準付属品 |
| 標準試料 | 標準付属品 | オプション | オプション |
| めっき液測定カップ | オプション | オプション | オプション |


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