XTD 大型ステージ全自動蛍光X線膜厚計

・コーティング厚さの分析
・各層の合金成分分析

XTDは、各種の異形部品、特に金型などの金物、水回り製品、プリント基板、高精密電子部品の表面処理について、成分と膜厚を分析する全自動の蛍光X線分析装置です。各種製品の品質管理、受入検査、製造工程管理の測定に広く使われています。

マイクロフォーカスX線発生器と先進の光路切替集光システムを搭載し、最小測定面積は0.002mm²です。

23層・24元素を同時に分析できます。測定元素範囲は塩素Cl(17)～ウランU(92)、めっき層の分析範囲はリチウムLi(3)～ウランU(92)、めっき層の検出下限値は0.005μmです。

非破壊のズーム検査技術と手動ズーム機能により、各種の異形品や凹部のある部品を非破壊で検査できます。測定できる凹部の深さは0～90mmです。

使いやすいクローズドソフトウェアで、故障を自動判定して校正と操作手順を示し、誤操作を防ぎます。

独自のEFPアルゴリズムにより、多層・多元素のめっきや、異なる層にある同一元素も高速・高精度・安定して分析できます（ネオジム磁石上のNi/Cu/Ni/FeNdBで、第1層と第3層のNiの膜厚を測定）。

4種類のコリメータを標準装備し、自由に切り替えられます。

全自動のプログラマブル移動ステージを搭載し、無人で数百～数千個の試料を自動検査できます。

微光集光技術により、最短測定距離でのスポットの広がりは10%未満です。